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10月30日,國家集成電路微納檢測設備產業計量測試中心在上海松江揭牌。該中心由同濟大學牽頭籌建,通過自主建立的納米計量技術與標準,為國產芯片制造提供精準計量支持,以提升產業鏈的自主可控能力。
10月30日,國家集成電路微納檢測設備產業計量測試中心在上海松江正式揭牌成立。該中心由同濟大學牽頭,聯合張江實驗室共同籌建,旨在聚焦集成電路微納檢測設備的國產替代計量測試需求,提升芯片產業鏈的自主可控能力與產業韌性。
中心將立足松江,服務輻射長三角地區,致力于為國產集成電路精密儀器儀表廠商提供覆蓋“全產業鏈、全壽命周期、全溯源鏈”并具備前瞻性研究能力的“三全一前”計量技術服務。
據了解,集成電路制造對測量精度要求極高。以7納米芯片制造為例,需要測量的精度達到約0.1納米,相當于頭發絲直徑的十萬分之一,而計量精度要求更高,需優于0.01納米。在芯片制造過程中,如果計量標準不準確,將直接影響產品合格率。
該中心主要致力于解決集成電路領域計量測試技術的自主創新問題。基于量子化光晶格常數技術,中心開發了新的計量方法和儀器,研制了包括納米級角度標準物質在內的多項國家一級標準物質,并建立了新的納米計量體系。中心將提供覆蓋全產業鏈、全壽命周期和全溯源鏈的計量技術服務,同時開展前瞻性研究。中心負責人表示,將著力構建集成電路產業專用自溯源納米長度計量技術體系。
中心的建設得到了多方支持。同濟大學長三角G60科創走廊研究院作為孵化平臺,在項目落地過程中發揮了重要作用。松江區相關部門在政策、資金和場地等方面提供了配套支持。
目前,該中心產業化公司籌建工作已同步啟動。未來,中心將圍繞松江區產業發展需求,通過多種合作方式推動技術創新和成果轉化。
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