臨界點干燥儀作為現代科研與工業領域的重要設備，憑借其一鍵全自動的操作模式，實現了干燥與清洗一體化的高效流程。以下是該儀器的主要特點和工作流程：

　　1.智能化控制系統：內置智能程序覆蓋從流體注入、壓力平衡到排氣的全過程，用戶只需一鍵啟動即可完成整個操作周期。系統能夠自動調節各項參數，包括CO2注入速度、置換次數、加熱速率及放氣速度等，確保不同樣品的處理需求得到精準滿足。同時，所有數據均可無縫對接到生產執行系統（MES），實現從晶圓到數據的全程可追溯性。

　　2.臨界點干燥儀安全三重防護機制：配備機械安全閥、電子報警裝置和程序互鎖功能，構建了獨立的三重安全保障體系。這種設計有效避免因誤操作或設備故障導致的安全隱患，充分保護操作人員與實驗室環境的安全。

　　3.標準化操作流程：以Leica EM CPD300為例，用戶需先打開電源并根據樣品尺寸選擇合適的樣品架與填充板；將裝載好樣品的組件轉移至樣品腔時需保持樣品全浸沒于純酒精或丙酮中。隨后進入程序設置界面，可自定義渦輪旋轉狀態、全自動模式選擇、CO?注入參數以及臨界點溫度控制方案等細節。點擊運行后，儀器將按照預設程序依次執行冷卻、慢速充液、排液、二次充液、超臨界狀態維持及泄壓排氣等步驟。

　　4.精密控溫與壓力管理：采用先進的壓縮機制冷結合電子加熱技術，實現溫度范圍-30℃至60℃的精確調控（精度±1℃）。配合帶視窗和照明的高壓樣品池設計，便于實時觀察樣品狀態變化。此外，儀器還具備超壓自動泄壓系統，確保壓力始終處于安全可控范圍內。

　　5.臨界點干燥儀廣泛適用性與兼容性：適用于SEM、TEM、MEMS器件、納米材料等多種類型的樣品處理，尤其擅長保存溶膠凝膠、生物組織等結構敏感材料的微觀形貌。通過無損干燥和清洗技術，可有效避免傳統方法因表面張力造成的樣品損傷。

　　6.可視化交互界面：部分高*機型如Hismart-250CL配備LCD高清觸摸屏，支持手動、自動、循環三種工作模式切換。用戶可通過圖形化界面直觀監控實驗進度，并利用微型計量閥門精確控制液態二氧化碳流量，提升操作便捷性和結果重復性。