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當(dāng)前位置:那諾中國有限公司>>產(chǎn)品展示>>量測(cè)系統(tǒng)>>薄膜曲率應(yīng)力測(cè)量儀
薄膜表面應(yīng)力儀是半導(dǎo)體制造中專門用于測(cè)量晶圓上薄膜應(yīng)力的精密檢測(cè)設(shè)備,基于激光掃描技術(shù),主要用于分析薄膜材料的應(yīng)力分布、曲率成像及殘余應(yīng)力等參數(shù)。
應(yīng)力測(cè)量儀是一種基于激光掃描技術(shù)的精密檢測(cè)設(shè)備,主要用于分析薄膜材料的應(yīng)力分布、曲率成像及殘余應(yīng)力等參數(shù)。該設(shè)備在半導(dǎo)體制造、材料研發(fā)和質(zhì)量控制等領(lǐng)域具有關(guān)鍵應(yīng)...
晶圓應(yīng)力測(cè)量儀是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵檢測(cè)設(shè)備,主要用于非接觸式、無損地評(píng)估晶圓內(nèi)部的機(jī)械應(yīng)力場(chǎng)分布。其中核心工作原理主要基于以下幾種技術(shù):光彈性效應(yīng)測(cè)量、曲率半徑...
FLATSCAN 薄膜應(yīng)力測(cè)試儀用于對(duì)各種反射面(如硅片、鏡面、X 射線鏡(Goebel-mirrors)、金屬表面或拋光聚合物)的平整度、表面曲率、平均半徑和...
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