長工作距離顯微鏡的設計思路
下面通過理論依據、方案設計、實際優化,最后完成產品闡述長工作距離顯微鏡的設計思路,以及為什么能有優秀的光學性能。
1.理論依據——瑞利判據
瑞利判據由瑞利勛爵提出,廣泛用于光學系統(如望遠鏡、顯微鏡)中兩點源的分辨能力評估,通過分辨艾里斑求得光學系統的最大分辨率。
艾里斑:凸透鏡能將入射光聚焦到它的焦點上,但由于透鏡口徑有一定大小,光線透過時會由于波動特性會發生衍射,無法將光線聚成無限小的焦點上,而只會形成一定能量分布的光斑。中央是明亮的圓斑,周圍有一組較弱的明暗相間的同心環狀條紋,把其中以第一暗環為界限的中央亮斑稱為艾里斑(AiryDisk)。下圖為兩個等光強的艾里斑從重疊到逐步分開的影像。

圖3 艾里斑
瑞利判據:在實際應用中,被測物體不是一個點而是一系列物點的集合。每一個物點經過有限直徑的透鏡后,在像平面上都會產生文中開頭提到的艾里斑,如果兩個物點的艾里斑重疊到無法分辨,我們則認為這兩個物點無法被分辨,圖4中讓兩個等光強的非相干點像逐步分開,當兩個點像中心間隔等于艾里斑的半徑R,這樣的艾里斑可以被認為是物點可以被分辨得最小尺寸,這種方式叫瑞利判定(RayleighCriterion)


圖4 瑞利判據分辨
那么我們來計算一下按照瑞利判定,可被分辨的艾里斑的半徑(也就是可以被分辨的最小尺寸)與生成這個艾里斑的光波波長的關系。圖5為原理示意圖。

圖5 瑞利判據計算模型
中間演算過程涉及到冗長的傅里葉級數變換以及各種函數方程,最終計算結果為:

公式中λ為使用光線的波長值;n為光路中透鏡對介質的折射率系數;α為入射光束與透鏡光軸間的夾角;NA為數值孔徑代表折射率系數與入射光束與透鏡光軸間夾角的積。在波長固定情況下,往往是NA值決定鏡頭的分辨率,NA值越大分辨率越高。
2.長工作距離的理論設計思路
在設計增加工作距離的時,同時要保障鏡頭分辨率,即數值孔徑(NA)的大小。

n是被測物到鏡頭中間介質的折射率,使用場景必然是在空氣中,值為1.0003,下面也列了幾種常見的介質作為科普。
介質 | 折射率 (n) | 典型應用 |
空氣 | 1.0003 | 普通光學系統參考基準 |
水 | 1.333 | 水浸物鏡、水下成像 |
玻璃 | 1.52-1.95 | 顯微鏡載玻片、光纖芯 |
浸油 | 1.515 | 油浸物鏡 (如NA=1.4) |
鉆石 | 2.417 | 高色散光學元件 |
表4 幾種常見的介質

圖6 數值孔徑幾何模型
在維持數值孔徑(NA)恒定的約束條件下,實現工作距離(WD)的擴展需同步增大入瞳孔徑(R)。基于幾何光學模型

當折射率介質(n)固定時,WD與R呈非線性正相關——WD每增加一個量級,R需以超線性比例放大以補償光錐角度的衰減,這對光學系統的機械公差、像差校正及制造成本提出了更高要求。
要保障NA值不變的前提下,增加工作距離,同時需增大入瞳孔徑。
這樣滿足前文所述的瑞利判據,這樣從理論角度可以實現,長工作距離和高分辨的同時兼顧。
3.長工作距離的實際設計思路
在實際光學系統設計中,入瞳孔徑的尺寸無法無限增加,需綜合考量工藝實現性、制造成本及系統空間布局等限制因素。基于上述約束條件,本研究最終選定4英寸(約101.6 mm)透鏡作為最大口徑的設計方案,以平衡光學性能(如數值孔徑)與工程可行性。
在顯微鏡的光路設計部分,考慮到有透射式和折反射式兩種思路,下面是兩種方式的特點差異:
透射式顯微鏡特點:當前商用顯微鏡市場以透射式顯微鏡為主導類型,其核心成像機制基于透射光路設計:光源發出的照明光束穿透樣本后,經由物鏡與目鏡的協同放大作用形成光學圖像,整個光路方向始終沿透射軸延伸。這種經典光路構型因其結構成熟穩定、樣本兼容性強等特點,在生物醫學檢測、材料分析等領域獲得廣泛應用。
折反射式顯微鏡特點:通過凹面主鏡與凸面副鏡的組合折疊光路,使光線在鏡筒內往返兩次后聚焦,再通過鏡片組完成顯微成像。

圖7 折反射式原理簡易圖
兩種方案對比,折反射式顯微系統雖然設計的難度大,但在相同的成像條件下,體積小,結構輕盈,更好的光學性能,所以選擇用折反射式光學系統設計長工作距離顯微鏡。
經過綜合考慮透鏡邊緣厚度,面型加工的難易之后,經過反復優化。最后設計制作出這兩款550、910mm起的長工作距離顯微鏡。
長工作距離顯微鏡創新點和優勢點

圖1 WD 550mm和910mm長工作距離顯微鏡
技術創新點:采用折反射式光學架構、工作距離與NA值的優化匹配設計。
產品優勢特點:色差控制,反射鏡對不同波長光線的反射角度一致,天然消除色差。像差校正,非球面反射鏡(如拋物面、雙曲面)有效抑制球差和彗差,結合多層寬帶鍍膜技術提升透光率。寬光譜設計,工作波段覆蓋350-2000nm。最大像面18mmm,覆蓋1.1"以內的芯片。
型號 | 放大 倍數 | NA | 工作 距離 | 分辨率 (um) |
2× M PLAN APO | 2× | 0.06 | 34 mm | 5 μm |
10× M PLAN APO | 10× | 0.28 | 34 mm | 1 μm |
1× M PLAN APO VIS | 1× | 0.025 | 13.0 mm | 11.0 μm |
2× M PLAN APO VIS | 2× | 0.055 | 34.0 mm | 5.0 μm |
5× M PLAN APO VIS | 5× | 0.15 | 44.85 mm | 2.5 μm |
表1 工作距離相對較長的顯微物鏡參數
對焦距離 (mm) | 放大 倍率 | 分辨率 (um) | 景深 (um) |
550 | 2.74 | 4.6 | 745 |
700 | 2.25 | 5.6 | 694 |
1000 | 1.64 | 7.6 | 661 |
1300 | 1.28 | 9.8 | 660 |
1500 | 1.11 | 11.3 | 670 |
表2 WD 550mm長工作距離顯微鏡的詳細性能數據

圖2 WD 550mm長工作距離顯微鏡分辨率板實拍圖
圖二是,WD550mm長工作距離顯微鏡在實驗室光線調節良好的情況下測試工作距離550mm的數據,125線對分辨清晰,160線對成像相對較差時,依然可以分辨。分辨率的線對計算方法如下:

計算得出125線對代表像素4um。
對焦距離 (mm) | 放大 倍率 | 分辨率 (um) | 景深 (mm) |
910 | 1.67 | 6.0 | 0.3 |
1300 | 1.55 | 8.3 | 0.35 |
2000 | 0.79 | 12.7 | 1.3 |
4000 | 0.39 | 25.3 | 4 |
10000 | 0.16 | 66.3 | 18 |
表3 WD910mm長工作距離顯微鏡的詳細性能數據
應用場景
1.工業制造與質量控制
半導體行業:半導體晶圓檢測(真空腔室觀測),晶體生長和集成電路的監測。可以用來實時監視晶體的生長速度和形態變化,或對集成電路生產進行在線監測。
鋼鐵、玻璃制造過程的監測。在生產現場就可以在鋼鐵、玻璃冷卻定型之前就開始進行微觀監測和缺陷篩選,以保證產品的質量。
2.醫療方向
生物反應器原位觀測,醫療手術與研究。可廣泛地應用于顯微外科、神經外科、骨科、眼科、皮膚病、燒傷以及五官科等醫療領域。對于動物試驗,生物醫學和植物學研究同樣具有極大的實用性。
3.特殊環境與復雜結構
真空/高溫檢測:
燈泡內燈絲檢測(需密封窗口)、核反應堆材料高溫服役監測(如合金709在950℃下的裂紋擴展分析),高溫/高壓環境過程監控。
材料微觀觀測。既可對樣品作靜態觀測,又能進行動態觀測,既可以使顯微鏡在樣品上移動觀測,又可以在樣品處于高溫、高濕、有腐蝕性氣體環境下觀測樣品的微觀變化,如:金屬在高溫下的熱膨脹、裂變、疲勞等的實時觀測。
公安司法鑒定取證。在不破壞現場的條件下,將手印痕跡、爆炸物殘跡等微觀痕跡直接攝錄下來,從而避免因取樣而對現場造成的破壞。
聯合光科新推出的長工作距離顯微鏡,憑借獨特的設計理念,突破了傳統顯微鏡的距離限制,為生命科學、材料創新及智能制造注入更強大的探索動力,歡迎大家咨詢!
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。
手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號:chem17
掃碼關注視頻號




















采購中心