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線上晶圓干燥機的操作規(guī)程如下所示：
1.開機前準備
環(huán)境確認：檢查設備所處區(qū)域的溫濕度是否符合要求，通常溫度應控制在22±3℃，相對濕度低于40%，避免因環(huán)境因素導致水分殘留或靜電積累影響晶圓質量。同時確保工作臺面清潔無雜物，防止異物進入設備內(nèi)部造成污染或損壞。
物料核對：根據(jù)生產(chǎn)計劃單仔細核對待處理的晶圓批次號、數(shù)量及規(guī)格型號，確認與當前工藝配方匹配。檢查晶圓表面是否有可見污漬、劃痕或其他缺陷，若有異常應及時上報并隔離處理。
工具準備：準備好專用的潔凈手套、鑷子、承載盒等操作工具，所有工具必須經(jīng)過清洗和烘干處理，保證無塵狀態(tài)。提前準備好足夠的干燥用氣體（如氮氣）儲備，確保供應壓力穩(wěn)定在設定范圍內(nèi)。
2.線上晶圓干燥機參數(shù)設置與預熱
程序調用：打開設備控制系統(tǒng)界面，從存儲的程序庫中選擇對應的干燥工藝文件，該文件包含針對特定產(chǎn)品類型的溫度曲線、氣流速度、旋轉速度等關鍵參數(shù)。如遇新產(chǎn)品試產(chǎn)或特殊訂單，需由工藝工程師重新編寫并驗證新程序后方可啟用。
參數(shù)微調：依據(jù)實際生產(chǎn)環(huán)境和材料特性對默認參數(shù)進行細微調整。例如，若車間環(huán)境濕度偏高，可適當提高初始階段的加熱速率以加速表面水分蒸發(fā)；對于薄型化晶圓，則需降低旋轉速度以防產(chǎn)生離心變形。每次修改后務必記錄變更內(nèi)容及理由。
預熱運行：啟動預熱模式，讓設備空載運行約15分鐘，使腔室內(nèi)部達到熱平衡狀態(tài)。在此期間監(jiān)控各傳感器反饋的數(shù)據(jù)波動情況，確認加熱元件、風扇電機等工作正常，沒有報警信息出現(xiàn)。
3.裝載晶圓
安全開門：當設備提示可以裝料時，按照操作流程緩慢開啟艙門，動作要輕緩以避免擾動已穩(wěn)定的氣流場。進入無菌工作環(huán)境后，迅速但謹慎地將盛放有晶圓的載體放入轉盤中央位置，確保每個晶圓之間保持適當間距，避免相互遮擋影響干燥效果。
封閉密封：確認所有晶圓放置妥當后，輕輕關閉艙門并鎖緊密封裝置。再次檢查門封條是否完好無損，確保整個干燥過程中腔室處于密閉狀態(tài)，防止外界濕氣侵入。
4.線上晶圓干燥機啟動干燥過程
自動運行：按下啟動按鈕，設備將按照預設程序自動執(zhí)行干燥流程。初期階段主要以低溫慢速旋轉為主，逐步去除晶圓表面的自由水；隨著時間推移逐漸提升溫度和轉速，加快物理吸附水的脫附速度。此過程中密切關注顯示屏上的實時數(shù)據(jù)變化，包括溫度、濕度、轉速等指標。
過程監(jiān)控：利用在線監(jiān)測系統(tǒng)持續(xù)跟蹤干燥進度，特別注意觀察晶圓邊緣區(qū)域的顏色變化，正常情況下應呈現(xiàn)均勻一致的色澤。如果發(fā)現(xiàn)局部過熱或變色不均的現(xiàn)象，立即暫停程序并查找原因，可能是由于氣流分布不均或者加熱管故障所致。
異常處理：一旦出現(xiàn)突發(fā)狀況如斷電、氣壓不足等情況，迅速啟動應急預案。一方面切換至備用電源維持基本功能運行；另一方面手動調節(jié)相關閥門保證最小流量的惰性氣體繼續(xù)流通，盡可能減少對晶圓的影響。事后詳細記錄事件經(jīng)過及采取的措施。
5.結束與取出
冷卻降溫：當系統(tǒng)判定干燥完成后，自動轉入冷卻階段。此時保持風扇繼續(xù)運轉但停止加熱，讓晶圓自然降溫至接近室溫水平。這一步驟非常重要，可以有效防止因溫差過大導致的熱應力損傷。
安全取料：待溫度降至安全范圍且系統(tǒng)發(fā)出完成信號后，緩慢打開艙門取出晶圓。使用防靜電手環(huán)接觸晶圓邊緣，避免人體靜電對其造成損害。將干燥后的晶圓逐一檢查外觀質量，合格品轉入下一工序，不合格品單獨存放并標記以便后續(xù)分析原因。
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