多孔氮化硅TEM載網的制備方法

來源：廈門超新芯科技有限公司 2025年08月22日 14:58

　　多孔氮化硅TEM載網是一種專為透射電子顯微鏡(TEM)設計的高性能載網，它以高純單晶硅為基底，覆蓋一層超薄氮化硅(厚度10-50nm)作為支撐膜，能夠實現原子級分辨率的成像。

　　多孔氮化硅TEM載網的優勢：

　　1、原子級分辨率：厚度均勻，電子束穿透率高，成像背景噪音較低，可清晰呈現原子級結構，尤其適合球差電鏡的高分辨表征。

　　2、耐高溫與耐腐蝕：氮化硅膜可耐受1000℃高溫及酸性環境，適用于高溫樣品制備或酸性條件下的TEM觀察，而傳統銅網在此類條件下易變形或腐蝕。

　　3、無碳元素干擾：不含碳元素，避免了傳統碳膜載網在電子束輻照下積碳的問題，確保長時間觀察或高劑量輻照時成像質量穩定。

　　4、良好的電子束穿透性：超薄的氮化硅膜不含碳元素，能有效避免積碳，減少電子束散射，提供清晰的背景，尤其適合球差原子分辨表征，可獲得高質量的 TEM 圖像。

　　制備方法：

　　通常采用化學氣相沉積法(CVD)結合光刻、刻蝕等微納加工技術制備。如先通過 LPCVD 在硅片基底上沉積氮化硅薄膜，然后利用光刻技術在薄膜上形成圖案，再通過反應離子刻蝕(RIE)等方法刻出多孔結構，最后去除基底硅，得到多孔氮化硅 TEM 載網。

　　使用時避免在潮濕或腐蝕性環境中長時間暴露，以防氮化硅膜性能下降。

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