表面微粒檢測儀的日常清潔與檢查

來源：蘇州長留凈化科技有限公司 2025年08月21日 11:56

表面微粒檢測儀是用于檢測固體或液體表面微粒污染的專業設備，廣泛應用于半導體、制藥、醫療器械及材料科學領域。其核心技術包括光學成像、激光散射和AI算法分析，可實現微米至納米級微粒的精準識別與分類‌。

技術與原理‌：

‌光學檢測技術‌：

‌激光散射成像‌：采用405nm激光光源，結合共聚焦顯微技術消除反射干擾。

‌光障礙法‌：通過微粒遮擋光束產生的信號變化計算粒徑（2-100μm），適用于透明液體（如注射液）‌。

‌圖像分析法‌：

高分辨率CMOS/CCD傳感器搭配顯微鏡頭，通過U-Net等AI模型自動分割微粒，分析形狀、粒徑及分布‌。

支持明場/暗場照明，增強透明微粒的檢測對比度‌。

‌多模態融合‌：

結合電子束檢測（EBI）與激光散射成像（LSI），提升復雜表面（如TSV結構）的檢測能力‌。

日常清潔與檢查：

‌光學系統維護‌：

每日使用前用無水乙醇擦拭傳感器窗口及光路組件，避免灰塵或樣品殘留影響檢測精度‌。

檢查激光光源強度，若發現衰減需校準或更換（建議每季度檢測光路穩定性）‌。

‌流體系統清潔‌：

每次檢測后需用純化水沖洗管路5次以上，黏稠樣品需增加熱水或有機溶劑清洗頻率‌。

每周更換0.45μm預過濾器，防止顆粒堵塞‌。

相關產品

凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。

聯系我們