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進口工業顯微鏡是一種用于觀察和分析微小物體或結構的精密儀器，其工作原理基于光學或電子光學原理，將不可見或難以直接觀察的微觀世界放大并呈現清晰的圖像。
(一)光學進口工業顯微鏡
1.照明系統：通常采用柯勒照明方式。光源發出的光線經過聚光鏡均勻地照亮被觀察的物體。聚光鏡的作用是調節光線的角度和強度，使光線以合適的角度照射到物體上，保證物體各部分都能得到均勻且充足的照明。
2.物鏡成像：物鏡是光學顯微鏡的關鍵部件之一。它靠近被觀察物體，具有較短的焦距和較高的放大倍數。物鏡將物體進行第一次放大，形成一個倒立的實像。這個實像位于目鏡的焦點內側。物鏡的質量和性能對成像的清晰度、分辨率等有著至關重要的影響。例如，高分辨率的物鏡能夠分辨出更小的物體細節。
3.目鏡觀察：目鏡的作用是對物鏡所成的像進行進一步的放大。目鏡內部有一個或多個透鏡組合，它將物鏡形成的實像再次放大，并且會校正物鏡成像過程中可能產生的像差。
(二)電子進口工業顯微鏡
1.透射電子顯微鏡(TEM)
-電子束發射：由電子槍發射出高速電子束。電子槍一般有熱陰極發射型和場發射型兩種。熱陰極發射型是通過加熱鎢絲等材料使其發射電子，而場發射型則是利用強電場從尖銳的發射體表面提取電子。這些電子具有很高的能量。
-樣品相互作用：高速電子束穿過超薄的樣品(通常樣品厚度在納米級別)。在穿過樣品的過程中，電子與樣品中的原子發生碰撞，由于樣品不同部位的原子密度、原子序數等不同，對電子的散射程度也不同。這種散射會導致電子束強度和相位的變化，從而攜帶了樣品的內部結構信息。
-成像系統：經過樣品后的電子束通過電磁透鏡系統進行聚焦和成像。電磁透鏡利用電流通過線圈產生的磁場來對電子束進行折射，其原理類似于光學透鏡對光線的折射，但控制更加靈活。通過調整電磁透鏡的電流，可以改變透鏡的焦距和聚焦效果，在熒光屏或照相底片上形成反映樣品內部結構的圖像。
2.掃描電子顯微鏡(SEM)
-電子束掃描：電子槍發射出的電子束在掃描線圈的作用下，對樣品表面進行逐點掃描。電子束斑很小，通常可以聚焦到幾個納米的尺寸。
-信號收集：當電子束照射到樣品表面時，會激發樣品產生各種信號，如二次電子、背散射電子等。二次電子是樣品表面的原子被電子束激發后逸出的低能電子，它能很好地反映樣品表面的形貌特征。背散射電子則是入射電子與樣品原子發生彈性散射后返回的電子，其產額與樣品的原子序數有關，可用于分析樣品的成分分布。這些信號被相應的探測器收集。
-成像顯示：探測器收集到的信號經過放大和處理后，按照電子束掃描的順序在顯示器上形成圖像。通過調節電子束的參數和探測器的接收方式，可以獲得不同對比度和信息的圖像，用于研究樣品的表面形貌、成分等。
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