線上晶圓干燥機利用超臨界技術，在超臨界狀態下，物質既不是氣體也不是液體，而是具有氣體的擴散性和液體的溶解能力。這種特性使得超臨界流體能夠高效地滲透到晶圓表面的微小孔隙中，將殘留的水分或清洗液帶走，從而實現快速的干燥。
 

　　線上晶圓干燥機主要應用于半導體制造過程中的晶圓干燥工序。在晶圓經過清洗后，表面會殘留很多水或清洗液的殘留物，這些殘留物中溶有雜質，如果讓這些殘留液體自行蒸發干燥，雜質就會重新黏結在晶圓表面上，造成污染。因此，需要使用線上晶圓干燥機對晶圓表面進行干燥處理，以除去這些殘留液體，保證晶圓質量。
 

　　產品特點：
 

　　高可靠性：采用堅固耐用的結構設計和穩定的運行性能，確保長期使用中的一致性和可靠性，減少維護頻率。
 

　　高效自動化：專為晶圓干燥工序設計的上下料機構，滿足先進產線線上設備的自動化需求，提高生產效率。
 

　　超凈環境適應：適合晶圓生產的超凈環境，確保干燥過程中不會引入污染，保證晶圓質量。