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桌面式自動(dòng)膜厚儀核心是通過(guò)物理或光學(xué)方法檢測(cè)膜層與基底的特性差異,自動(dòng)計(jì)算并輸出膜厚值,不同原理機(jī)型適配不同膜層場(chǎng)景,以下是最常見(jiàn)的3種工作原理簡(jiǎn)單介紹:1.接觸式(機(jī)械探針?lè)ǎ┻@是最基礎(chǔ)的原理。儀器
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