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光柵傳感器的工作原理主要基于光學(xué)干涉和莫爾條紋效應(yīng),以下是其核心機(jī)制和應(yīng)用解析:
1. 基本工作原理?
光柵結(jié)構(gòu)?:由標(biāo)尺光柵(主光柵)和指示光柵(移動(dòng)光柵)組成,兩者刻線密度相同但呈微小夾角疊加?。
莫爾條紋生成?:當(dāng)指示光柵移動(dòng)時(shí),兩光柵的刻線干涉形成明暗相間的莫爾條紋,其間距遠(yuǎn)大于光柵刻線間距,實(shí)現(xiàn)位移放大?。
信號(hào)轉(zhuǎn)換?:光電探測(cè)器捕捉莫爾條紋的光強(qiáng)變化,通過(guò)放大、整形和計(jì)數(shù)系統(tǒng)輸出數(shù)字信號(hào),精確計(jì)算位移量?。
2. 關(guān)鍵技術(shù)特點(diǎn)?
高精度測(cè)量?:采用電子細(xì)分技術(shù),分辨率可達(dá)±5μm?。
方向識(shí)別?:通過(guò)相位差分析(如正弦波/方波信號(hào))確定運(yùn)動(dòng)方向?。
環(huán)境適應(yīng)性?:抗電磁干擾,適用于機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備等復(fù)雜場(chǎng)景?。
3. 應(yīng)用場(chǎng)景?
工業(yè)檢測(cè)?:尺寸測(cè)量、坐標(biāo)定位(如測(cè)量光柵通過(guò)紅外掃描實(shí)現(xiàn)物體尺寸檢測(cè))?。
數(shù)控機(jī)床?:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)刀具位移,提升加工精度?。
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