主要特點:
測量精度高:結(jié)合精密光學(xué)系統(tǒng)和好的測量算法,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的尺寸測量。
自動化程度高:具備自動對焦、自動定位、自動掃描和測量等功能,可大大減少人工操作,提高測量效率和準(zhǔn)確性。
操作簡便:通常配備功能強大且操作簡易的測量軟件,用戶只需通過鼠標(biāo)操作,即可完成各種測量任務(wù)。
功能多樣:可提供線寬、弧度、倒角、孔距等多種尺寸測量,還支持批量檢測和 SPC 等功能。
應(yīng)用場景:
材料科學(xué):在材料科學(xué)領(lǐng)域,全自動測量顯微鏡可用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能。例如,可以測量材料的晶粒尺寸、相分布和缺陷等參數(shù),為材料的研究和開發(fā)提供有力支持。
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,全自動測量顯微鏡可用于檢測芯片上的微小結(jié)構(gòu)和缺陷。例如,可以測量芯片上的線寬、間距和角度等參數(shù),確保芯片的質(zhì)量和性能。
精密機械加工:在精密機械加工領(lǐng)域,全自動測量顯微鏡可用于檢測零件的尺寸和形狀精度。例如,可以測量零件的長度、寬度、高度和角度等參數(shù),確保零件的加工質(zhì)量和裝配精度。
光學(xué)元件檢測:在光學(xué)元件檢測領(lǐng)域,全自動測量顯微鏡可用于檢測光學(xué)元件的表面質(zhì)量和光學(xué)性能。例如,可以測量光學(xué)元件的表面粗糙度、波前像差和透射率等參數(shù),確保光學(xué)元件的質(zhì)量和性能。
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