HP100-PE型烤膠機是一款自帶頂升功能,具備真空吸附和可進行線性控溫的高精密烤膠設備。
HP100-PE烤膠溫度可達300℃(更高溫度可選),可實現控溫在±0.5℃以內,溫度分辨率在0.1℃,表面溫度均勻性小于1%的控溫操作。HP100-PE且帶有接近模式烤膠的頂升功能,方便計時,方便上下片拿取,頂升功能能夠進行5步編程,可存貯100組頂升烤膠程序。
精密程控型烤膠機是一款高性能烤膠設備,帶有真空吸附、頂針定位烤膠、線性升溫等功能,可以存貯100組程序,每個配方可設置5個加熱階段。所有運行參數如加熱時間、頂升高度的選擇等都可在觸屏上方便設置。
產品參數
1.硬質陽極氧化鋁面板,加熱面板尺寸:220mm*220mm方形;
2.控溫范圍:室溫至300℃,溫度分辨率:0.1℃
3.7寸全彩觸屏操作,高級PLC控制,控溫精度達到±0.2℃
4.帶自動頂升功能,實現接近烤膠模式;電動頂針調節高度范圍:0-30mm,頂針高度分辨率:0.1mm
5.頂針可使用底物直徑大于40mm晶圓,特殊要求可定制;
6.溫度均勻性:200℃以下≤±1%;200℃~300℃≤±1.5%
7.可存貯100組烤膠配方,每個配方可設置30個加熱階段;
8.外型尺寸:423mm(W)*562mm(D)*295mm(D)
9.線性升溫范圍在1-10℃/min,升溫速率可設置;