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北京華丞電子有限公司

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目錄:北京華丞電子有限公司>>氣體流量測量控制>> CS330 熱式數(shù)字氣體質量流量控制器

CS330 熱式數(shù)字氣體質量流量控制器

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更新時間：2025-07-31 16:52:20瀏覽次數(shù)：122評價

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全部產(chǎn)品列表

CS330C、D型 MFC是全金屬密封大流量的數(shù)字型產(chǎn)品，為氣體質量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。該型產(chǎn)品支持提供數(shù)字信號，0~5V模擬信號，4~20mA模擬信號，可以使用雙電源（±8~±16VDC）或單電源(+14~+28 VDC)。

創(chuàng)新點

VCP的閥控技術

閥控技術采用多項新成果，統(tǒng)稱VCP技術，該結構閥內部氣體死區(qū)空間少，閥響應速度快，無磁滯現(xiàn)象。采用VCP技術可以有效的提高氣體質量流量控制器品質。

恒功率傳感器

采用了一種新型恒功率式傳感器技術，該技術采用保持傳感器工作狀態(tài)恒定方法，大幅度提高了系統(tǒng)測量精度、響應速度等多項指標。

數(shù)字傳感器補償技術

采用一種數(shù)字式傳感器電橋平衡方法，可以用連續(xù)的電壓對傳感器驅動電壓進行溫度補償，提高了產(chǎn)品傳感器對于溫度漂移抑制，使產(chǎn)品可以抵抗溫度劇烈變化。

應用領域

半導體—集成電路

清潔能源—光伏

特種工業(yè)—真空鍍膜

科學研究—實驗器材

技術指標

型號	CS330
	C		D
流量規(guī)格(N?)	(100,200) SLM
準確度	±1.0% S.P.(>35% F.S.) ±0.35% F.S.(≤35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤1sec
閥類型	Normally Closed	No Valve	Normally Closed	No Valve
工作壓差范圍	400~600KPa	<0.03 MPa	400~600KPa	<0.03 MPa
溫度系數(shù)	Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.1% F.S./℃
工作壓力	0.6 MPa
耐壓	1 MPa
零漂	<0.6%F.S. per year without autozero
漏率	5x10?¹²Pa·m³/sec He (5x10?¹¹atm.cc/sec He)
密封材料	Metal
工作環(huán)境溫度	(0~50) ℃
輸入信號	Digital: RS485/DeviceNet/ EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA	N/A	Digital: RS485/DeviceNet/EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA	N/A
輸出信號	Digital: RS485 or DeviceNet or EtherCAT Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA
電源	±8~±16 VDC or+14~+28 VDC(400mA)
表面化學成分	Cr/ Fe ratio>2.0 CrO thickness >20 Angstroms
標準接頭形式	VCR 1/2"M
電源接頭形式	9 pin male sub-D; 15 pin male sub-D;DeviceNet male; EtherCAT* male
表面粗糙度	5 μinch Ra		25 μinch Ra
重量	1.8kg	1.6kg	1.8kg	1.6kg