[應用]

TMC STACIS® III Quiet Island應用于高分辨率低溫透射電鏡

應用：3D蛋白質和細胞成像

顯微鏡：ThermoFisher（原FEI）Titan Krios低溫透射電子顯微鏡

介紹：

2014年，俄勒岡健康與科學大學（OHSU）的多尺度顯微鏡核心擴展了其協作的生命科學大 樓，將TFS Titan Krios低溫透射電子顯微鏡包括在內。

照片由OHSU提供

挑戰：

透射電子顯微鏡（如Titan Krios）是世界上對振動最敏感的儀器之一，容易受到建筑地面振動的影響，從而影響高分辨率性能。

論述：

令人擔憂的是，即將在附近建造和開放的橋梁可能會嚴重影響該工具的性能。施工活動和車輛通行會大大提高建筑地面的振動水平。Titan Krios對聲音也很敏感，因此TEM柱由一個隔音罩包圍。雖然隔音罩減少了聲音對TEM的影響，但是大型機柜可以將聲音與TEM的支撐平臺耦合為地面振動，因此將隔音罩與柱分離非常重要。

解決方案 - TMC STACIS® III Quiet Island®：

STACIS III采用特別的串行設計和專有的高力壓電技術，具有0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的慣性主動振動消除功能。它沒有軟懸架，與主動空氣系統不同，STACIS本質上與Titan Krios的內部主動空氣隔振系統兼容，因此，兩個系統都可以在最佳狀態下運行。TMC專門為Titan Krios設計了一個兩部分嵌套的Quiet Island，其由一個支撐柱子的內部STACIS Quiet Island和一個分離和支撐隔音罩的外部剛性Quiet Island“環"組成。STACIS Quiet Island是一個現場解決方案，可在實驗室設施的設計和規劃中實現更大的靈活性和成本節約。

使用安裝的工具測量水平（頂部）和垂直（底部）隔振性能

概要：

“[STACIS Quiet Island]如預期的那樣工作。我們附近的橋梁通車了……還有火車、公共汽車和電車整天經過，我們沒有任何振動問題。這真是太棒了。"- 美國OHSU多尺度顯微鏡核心經理Claudia López博士。

STACIS作為微震振動器

設備制造商可以使用STACIS®生成微米級地面振動，模擬現實世界中的地面活動，以制定工具振動標準。

半導體設備制造商、電子顯微鏡制造商和其他精密工具制造商都在努力為其儀器制定有意義的地面振動標準。這些標準可以從理論或經驗上推導得出。理論計算非常復雜，通常不切實際或由于許多變量無法輕易建模而不能反映實際的工具靈敏度。根據經驗得出的地面振動標準通常基于從各種設備在不同地面振動水平下收集的工具性能信息。這些地面振動水平和相應的工具性能用于在頻譜上創建振幅的上限，該上限代表了獲得可接受工具性能的地面振動水平。這兩種方法都非常困難、耗時，并且不能為工具生成精確的振動規格。

STACIS®提供了一種D特且新穎的方法來實現工具振動標準的開發。STACIS通常作為地板隔振/消振系統使用，也可用于提供微米級振動器輸入。該振動器信號可以是白噪聲、離散頻率或正弦掃描波形。STACIS可提供獨立或組合的X、Y和Z軸振動輸入。作為振動器，STACIS可以消除建筑地面振動，以提供一個安靜的地基，同時在其上疊加所需的頻率和振幅振動頻譜，以測試工具性能。沒有其他哪個振動器系統可以將輸入控制到如此小的幅度。沒有其他哪個振動器系統既可以隔離環境地面振動，又可以提供受控的振動頻譜。STACIS數字控制器在極低振幅下產生的振動不會受到測試現場周圍建筑地面振動的影響。

完整的工作工具可以安裝在STACIS隔振/振動器系統上，并且可以在評估整體工具性能時調整STACIS振動幅度。可以在給定的頻率或給定的頻帶激勵該工具，以確定限制整體工具性能的振動輸入的精確振幅/頻率關系。最終可得到工具的整體振動標準水平，其對應于工具可提供最佳性能的精確振動水平。這種測試可以相對快速、輕松地完成 - 無需將工具運送到客戶現場并等待大量現場數據，也不需要依賴可疑的建模信息。

應用圖片

超厚光學工作臺

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安裝在高架地板案例

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