切斷電源和水源：清洗前務必先切斷石英亞沸蒸餾水器的電源，并關閉自來水閥門，以確保操作安全。
加入濃鹽酸：向橫式燒瓶內(nèi)加入 100ml 濃鹽酸，若積垢較多，可適當增加鹽酸的量。讓鹽酸與瓶內(nèi)的水混合，對水垢等污垢進行溶解，浸泡數(shù)分鐘。
放出溶液并沖洗：浸泡完成后，通過水位器將鹽酸溶液放出。然后用自來水沖洗燒瓶數(shù)次，為了清除微量鹽酸，可前后搖動燒瓶，使不易清洗的死角也能沖洗干凈。
舍棄初始蒸餾水：再次蒸餾時，開始 10 分鐘內(nèi)所蒸餾出的水應舍去不用，因為可能會殘留微量雜質(zhì)1。

二、嚴重污垢或化學污染清洗：

王水浸泡：用鹽酸與硝酸的體積比為 3：1浸泡蒸餾器 24 小時。
氫氟酸浸蝕：如果是長期用自來水直接提純導致結垢嚴重，或因添加化學試劑和提純化學試劑而造成污染，可在王水浸泡后，再用 5% 的氫氟酸進行浸蝕處理，以蒸餾器光亮為準，注意切勿過度浸泡，以免使蒸餾器表面變毛。
沖洗干凈：浸蝕完成后，用去離子水沖洗蒸餾器，確保將殘留的化學試劑沖洗干凈，達到平衡純化的狀態(tài)。

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